如何判断真空烧结炉是欠烧还是过烧

　　在开始烧结之前要先确认每个加热灯管是否可以正常运行。检查各个温区的灯管输出的功率是否高于其他温区灯管的平均值，来保证烧结的平均性。
　　欠烧时，穿透氮化硅的银浆留有残余，那么进入N型层的银浆也比较少，欧姆接触果不好，会造成串联的电阻较大。过烧时，银的消耗量会较平时多些，而且会形成有银硅形成的混合层，这个混合层会起到阻碍的作用，同样也会形成串联的电阻过大。所以单单通过电阻不能推断是欠烧还是过烧状态。
　　当无法判断烧结的状态时可以调节8区的温度，找到大概的调节点，然后缓慢进行微调。微调的时候我们可以通过背场的状态来判断，如果背场微微鼓起，那么就是出于过烧，所以应微调降低温度。