真空热处理炉怎么抽真空？

2019-05-14 真空炉 1 个回答

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操作步骤如下：先罗茨泵启动，打开前阀，关闭主阀和预抽阀，用按钮启动机械泵，当低真空规管测量的真空度高于罗茨泵入口真空度时，启动预热扩散泵，主阀和预抽阀仍处于关闭状态，前泵机组对扩散泵抽真空，当低真空规管测量扩散泵前真空度高于规定值时，打开预抽炉内真空，先关前阀，并停罗茨泵，稍后找开预抽阀对炉内抽真空。炉内真空度抽到高于罗茨泵入口真空度时，再启动罗茨泵，前泵机组对炉内抽气，使之达到预抽真空度。